Wodorotlenek tetrametyloamoniowy, czyli TMAH o wzorze (CH3)4NOH (często spotykany jako roztwór wodny), to ciecz technologiczna silnie związana z branżą mikroelektroniki. Stosuje się go m.in. do anizotropowego trawienia krzemu oraz w procesach fotolitografii, gdzie pełni rolę wywoływacza lub środka do usuwania fotorezystu. Występuje także w niektórych zastosowaniach chemicznych jako katalizator transferu fazowego i surfaktant, np. w syntezie ferrofluidów, gdzie ogranicza agregację nanocząstek. Choć w praktyce produkcyjnej bywa traktowany jak „kolejna zasada”, zagrożenie TMAH jest wyjątkowe: poza oparzeniami alkalicznymi może wywoływać ciężką toksyczność ogólnoustrojową. Opisy kliniczne dokumentują przypadki poważnych zatruć i zgonów po ekspozycji skórnej na roztwory TMAH, z objawami takimi jak osłabienie mięśni, duszność i niewydolność oddechowa. Mechanizm obejmuje wpływ jonu tetrametyloamoniowego na nerwy i mięśnie, co może prowadzić do porażenia mięśni oddechowych.
W zakładach półprzewodnikowych i laboratoriach ryzyko wycieku koncentruje się przy wannach procesowych, układach dozowania, filtracji i recyrkulacji, na połączeniach węży oraz w strefach magazynowania odczynników. Detekcja wycieku TMAH ma znaczenie przede wszystkim dlatego, że nawet krótki kontakt z cieczą może mieć konsekwencje krytyczne dla zdrowia, a niewielki rozlew może ukryć się w kanałach i studzienkach, zwiększając ryzyko wtórnej ekspozycji podczas sprzątania lub serwisu. Sprawny czujnik wycieku powinien więc wspierać szybkie wyłączenie procesu i ograniczenie strefy skażenia. Dla roztworów TMAH zalecany jest kabel sensorowy TraceTek TT3000, przeznaczony do detekcji cieczy przewodzących i wodnych roztworów chemicznych. W referencyjnej liście cieczy TraceTek TMAH jest wymieniany jako wykrywalny przez TT3000, co jest ważne przy projektowaniu tras w kanałach technologicznych i w wannach wychwytowych pod instalacją.